Peči z inertno atmosfero, imenovane tudi anaerobne pečice, so zasnovane za toplotno obdelavo z uporabo neoksidirajočih plinov, kot je dušik, v tesnilnem okolju, primerne so za toplotno obdelavo v atmosferi z nizko koncentracijo kisika.
Opis
Serija pečic z inertno atmosfero se uporablja v proizvodnji polprevodnikov za predhodno obdelavo silicijevih rezin, galijevega arzenida, litijevega niobata, stekla pred nanosom PR, pečenje trdega filma po nanosu PR in visokotemperaturno pečenje po razvijanju; Primeren je tudi za proizvodne in znanstvenoraziskovalne oddelke, kot so elektronski zasloni s tekočimi kristali, LCD, CMOS, IS in laboratoriji; lahko se uporablja tudi za sušenje, toplotno obdelavo, staranje in druge visokotemperaturne teste nehlapnih, negorljivih in neeksplozivnih predmetov.
Glavni parametri
►Tehnični parametri
Zmogljivost: Prilagojeno glede na izdelke
Temperaturno območje: Okolje +50°C ~ 250°C
Vsebnost kisika: ≤50 ppm
Enakomernost temperature: ±2,5%
Hitrost povečanja: nadzorovana
Dovod dušika: Φ8
Pretok dušika: 0-240L/min * 2 kanala
►Struktura
. Notranja pečica: Izdelana iz nerjavečega jekla in brezšivno varjena s plinom argonom.
. Hermetično zaprta: Komora je zaprta, da se zmanjša raven kisika.
. Struktura dovoda zraka: Omogoča, da neoksidirajoči plini napolnijo komoro.
. Analizator O2: Natančno prilagodite ravni kisika med 0,5 ~ 21 %
► Sistem za nadzor temperature
Inteligentni regulator temperature JAPAN RKC, programiranje in nastavitev fiksne vrednosti, samodejno uravnavanje AT, popravek zamika in zadrževanje po izklopu.
► Prisilna konvekcija zraka
Patentiran zračni kanal v sistemu kroženja toplega zraka lahko samodejno prilagodi enakomernost temperature.
Lastnosti za anaerobne (inertne) pečice
► Hermetično zaprt studio iz nerjavečega jekla za preprečevanje vdora zunanje atmosfere
► Za anaerobno toplotno obdelavo uporabite dušikov inertni plin
► Opremljena sta merilnik pretoka in manometer
► Varnostne naprave z več zaščitami
Možnosti
► PLC+7” programabilni krmilnik
► Tribarvni utripajoči svetlobni alarm
► Omejevalnik previsoke temperature
► Ročne varnostne naprave
Zakaj izbrati pečice z inertno atmosfero?
Dandanes so se materiali za ožičenje v tokokrogih premaknili z aluminija na baker z nižjo upornostjo. Zato lahko pri toplotni obdelavi v običajni sušilni pečici bakreni deli oksidirajo in povzročijo napake. Poleg tega se izvaja tudi staranje pri 250 stopinjah C, da se preveri, ali so bili podatki, zapisani na bliskovnem pomnilniku, izbrisani zaradi elektromigracije in ali so izbokline oksidirane, zato je treba vsebnost kisika zmanjšati na <100 ppm. Ta anaerobna peč je bila razvita za izpolnjevanje teh zahtev.
Aplikacija
Peči v inertni atmosferi se večinoma uporabljajo za strjevanje BPO lepila/lepila PI/BCB lepila, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, visoko precizne elektronske komponente in druge materiale v okolju z nizko vsebnostjo kisika za preskuse sušenja in staranja .
